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产品分类
产品简介
产品型号：
Ailesic-1500
产品介绍（Ailesic-1500）：
1. Adapt to 1500℃Extra High Temp Processes
-Rapid Heating: ～20℃/min (10℃/minover 1350℃)
-Mass production Capability: ～50 wafers/batch2. Attain and Maintain Extra Low Metal Cont.
-Extra High Purity All-CVD SiC Wares
-Effective In-situ Cleaning System3. Extra Low Running Cost
-Long life SiC wares
-Long life Heater
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